SEM JSM 7100f-TTL JEOL microscope

Il microscopio elettronico a scansione JSM 7100f-TTL JEOL ha una tensione di accelerazione compresa tra 1 e 30 keV, con la possibilità di utilizzare tensioni inferiori a 1 keV grazie alla tecnologia Gentle Beam. È dotato di un sistema EDS (X-MAX 80, Oxford Instruments) e di uno spettrometro a catodoluminescenza (MonoCL4, GATAN). Dispone inoltre di una piastra riscaldante per riscaldamento in situ (intervallo: RT-700 °C) e dosaggio di gas in situ.

Il microscopio può essere utilizzato per l’acquisizione di immagini di superfici conduttive e asciutte con una risoluzione di pochi nanometri.

Oltre alla morfologia superficiale (emissione di elettroni secondari) e alla mappatura della distribuzione delle fasi (elettroni retrodiffusi) è possibile effettuare analisi composizionali (spettroscopia EDS o mappature) e di emissione ottica (spettroscopia o mappatura catodoluminescente). La spettroscopia a catodoluminescenza può essere utilizzata per caratterizzare alcune proprietà elettroniche e strutturali del materiale, quali la banda proibita ottica o la presenza di difetti. È possibile riscaldare il campione e dosare gas in situ, cioè durante l’analisi SEM.

Il laboratorio è inoltre dotato di strumenti per la preparazione dei campioni, tra cui: una sega a filo diamantato (Well), un sistema ad alta precisione per il ricoprimento e la rimozione di materiale dalla superficie dei campioni (PECS, GATAN), un sistema di lucidatura ionica di precisione (PIPS, GATAN), un tagliadischi a ultrasuoni (GATAN), una smerigliatrice per creare fossette o rientranze e una levigatrice a disco (GATAN), una lucidatrice per sezioni trasversali (JEOL), una lucidatrice rotativa (STRUERS) e altre attrezzature ausiliarie (piastre riscaldanti, camere a vuoto, forni, deionizzatore d'acqua, stereomicroscopio, ecc.).

Responsabile dello strumento: Prof. Associato Mattia Fanetti.
Personale tecnico responsabile: Dr. Blaž Belec.